對(duì)進(jìn)入石英退火爐內(nèi)的氣體在質(zhì)量、數(shù)量、壓力較強(qiáng)對(duì)流球化退火爐層面均有嚴(yán)謹(jǐn)?shù)囊?guī)定，特別是在質(zhì)量層面，對(duì)純度、氧氣量、水汽含量(漏點(diǎn))、雜質(zhì)成分等要求很高。

1、氧含量：為了很好地保證石英退火爐的產(chǎn)品質(zhì)量，規(guī)定爐內(nèi)氣體的氧含量越低越好，不超過(guò)lOppm(1ppm=10-3mL／L)，而維護(hù)氣體進(jìn)到爐內(nèi)后會(huì)遭受爐口微孔板漏水的危害，氧含量會(huì)提升。因此一般規(guī)定維護(hù)氣體在通入爐內(nèi)以前氧含量≤5ppm。

2、水汽成分：根據(jù)石英退火爐爐內(nèi)氣體中水蒸汽的成分是用漏點(diǎn)來(lái)表明的，爐氣的漏點(diǎn)在條型去應(yīng)力退火爐后邊的制冷段不可以超出-20℃。維護(hù)氣體吹摻燒內(nèi)之后與帶鋼表層的銹跡和滲透到爐內(nèi)的O2反映，漏點(diǎn)會(huì)有些上升，因此規(guī)定維護(hù)氣體在通摻燒內(nèi)以前漏點(diǎn)須≤-60℃。

3、純度：氣體的純凈自然是越低越好，但還需要考慮到現(xiàn)階段水準(zhǔn)能夠做到的純度。針對(duì)純氮而言，現(xiàn)階段的方式可以做到99．999％，針對(duì)氨溶解電解水制氫而言，現(xiàn)階段還可以做到99.999％，殘留氨≤3ppm。那樣的純度基本上能達(dá)到熱浸鍍鋅產(chǎn)品質(zhì)量的規(guī)定。

4、壓力：根據(jù)石英退火爐爐內(nèi)須維持正壓力才可以使外面的氣體不至于入侵爐內(nèi)，爐內(nèi)工作壓力規(guī)定≥5mmH20(ImrnH20-9.8Pa)，一般調(diào)節(jié)在7～15mrnH20。實(shí)際上針對(duì)氣體而言，這類工作壓力是不大的，因此通摻燒內(nèi)的汽體須有適度的工作壓力，無(wú)需太高，一般為0.O5MPa。

5、流量：根據(jù)石英退火爐內(nèi)維護(hù)空氣的流量與爐壓有適度的關(guān)聯(lián)，即流量越高，爐壓越高。但靠提升通人維護(hù)氣體的流量來(lái)提升爐壓的作法是不合理的，那樣會(huì)引起較大的消耗，確保爐膛的封口實(shí)際效果，在這個(gè)基礎(chǔ)內(nèi)以確保產(chǎn)品品質(zhì)為道德底線，明確維護(hù)氣體的流量。即選用實(shí)驗(yàn)的方式，尋找造成欠佳的臨界值總流量，再加之恰當(dāng)?shù)纳虡I(yè)保險(xiǎn)量，進(jìn)而獲得合理流量。一般石英退火爐的維護(hù)氣體過(guò)氧化物量為15％上下時(shí)，每鐘頭總流量與爐內(nèi)容積基本相同。提升氡氣濃度值可以合理減少總流量，相反氡氣濃度值減少時(shí)需提升流量。